Содержание

Введение…………………………………………………………………...3
Глава 1. Производственные технологии…………………………….......6
Глава 2. Электронно-ионно-плазменные технологии……………..….19
2.1. Основные характеристики…………………………………...19
2.2. Применение…………………………………………………...20
2.3. Состояние и тенденция развития……………………………20
Глава 3. Вакуумное электронно – ионно – плазменное оборудование и технологии формирования наноструктурных слоев и покрытий………..…22
Заключение………………………………………………………………25
Список литературы……………………………………………………..27