ОПТИЧЕСКОЕ ПРИБОРОСТРОЕНИЕ
Высокоточный метод контроля параметров локальных отклонений нанометрового уровня поверхности оптической детали.
Барышников Н.В., Денисов Д.Г., Карасик В.Е., Абдулкадыров М.А., Игнатов А.Н., Патрикеев В.Е., Семенов А.П., Морозов А.Б., Судариков И.Н., Шаров Ю.А.
стр. 54-61